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今天是
  • 概况
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姓    名
胡松
性    别
职    称
研究员/博士生导师
联系电话
028-85100564
E-mail
husong@ioe.ac.cn
邮政编码
610209
通讯地址
四川成都双流西航港光电大道1号
招生专业
博士招生专业:080402测试计量技术及仪器;硕士招生专业:080402测试计量技术及仪器(学硕)
研究领域
微细加工装备整机及关键技术研究
微细加工装备是各种集成电路、芯片及各种微纳结构制造的母机,是信息化时代的基石。高端微细加工装备研制极具难度,代表了现代工业制造最高水平。
本研究领域是光电所特色研究领域之一,包括照明、物镜、对准、检焦、工件台等关键技术,以及整机控制、软件,集成、调试及性能检测等多项研究内容,涉及光学、机械、电控及软件多个学科方向,对基础理论及工程实践能力有极高的要求。
导师简介

 


个人主页:http://people.ucas.ac.cn/~husong

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