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今天是
  • 概况
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姓    名
唐燕
性    别
职    称
副研究员
联系电话
028-85100167
E-mail
ty0513@163.com
邮政编码
610209
通讯地址
四川成都双流西航港光电大道1号
招生专业
博士招生专业:080402测试计量技术及仪器;硕士招生专业:080402测试计量技术及仪器(学硕)
研究领域
微纳制造中的纳米检测技术研究
导师简介

唐燕,女,1982年生,入选“西部之光”人才计划,中国科学院青年创新促进会成员。致力于微纳制造中的纳米检测技术研究,针对制造过程检测需要,开展光刻机设备核心检焦、对准及间隙测量等关键技术研究。针对加工结果检测需要,以超分辨、三维测量为核心,开展多种检测方法研究及专用设备研发。

发表论文20余篇,其中以第一作者/通讯作者发表SCI论文10余篇,申请国家发明专利10余项,授权5项。作为项目负责人,主持国家自然科学基金青年、面上项目各一项,“西部之光”重点项目一项,中国科学院科学仪器研发项目一项,四川省科技支撑计划项目一项,作为课题负责人参与国家重大仪器专项“超分辨光刻装备研制”,负责其中核心间隙测量、检焦及对准系统研发。此外,带领微纳检测团队争取国家及省部级项目10余项。

    独立/协助指导硕士研究生7名,博士研究生8名,已毕业7名,累计7人获得国家奖学金,4人获得朱李月华博士奖,1人获得四川省优秀毕业生称号。所指导的学生,2人次获得光电所研究生创新基金,1人获得国家自然科学基金面上项目,2人获得国家自然基金青年项目,1人获得四川省苗子工程资助。

 

个人主页:http://people.ucas.ac.cn/~0030964

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